Atomik Katman Biriktirme ile Kimyasal Buhar Biriktirme
Kimya
İnorganik Kimya
Normal
Özet
Öncülleri sırayla verip her seferinde tek bir atom katmanı büyüten yöntemdir; kalınlık atom düzeyinde denetlenir ama çok yavaştır. İLE Gaz fazındaki öncüllerin sıcak yüzeyde ayrışıp katman oluşturmasıdır; hızlıdır ve kalın film verir ama katman denetimi kabadır.
Ayrıntılı Açıklama
ALD monatomik tabakalar halinde kontrolle büyütürken, CVD sürekli film oluşumu sağlar
Formül: Kendini sınırlayan
Formül: Kendini sınırlayan
Formül
Kendini sınırlayan