Sol-gel İLE CVD İLE ALD İLE Sputtering ile İnce Film Teknikleri
Kimya
Normal
Özet
Nano ölçekli kaplama yöntemleri.
Ayrıntılı Açıklama
Film teknikleri:
- Sol-gel: Çözelti bazlı
- CVD: Kimyasal buhar biriktirme
- ALD: Atomik katman biriktirme
- Sputtering: Fiziksel buhar biriktirme
ALD atomik kontrol sağlar.
- Sol-gel: Çözelti bazlı
- CVD: Kimyasal buhar biriktirme
- ALD: Atomik katman biriktirme
- Sputtering: Fiziksel buhar biriktirme
ALD atomik kontrol sağlar.
Formül
GPC = Å/döngü (ALD)